夜晚，申城微电子，EUV专家小组，廖锡昌看着手中的实验报告，这已经是不知道第多少次极紫外光击打液态锡的测试了，通过验证的3个数学模型，每种都进行了上千次的测试，目前都没有获得最终的成功。
中科院那边验证的两个模型中，有一个可以跑到最后，但最终的输出功率却达不到要求。
梁圆走进廖老办公室，把大灯打开，“老师，只开台灯对视力影响不好。”
说完走到饮水机，给廖老倒了杯水，接着又从抽屉里拿出一瓶药，“医生都说了，您不能这样每天都熬下去了，今天的降压药又忘吃了。”
廖锡昌放下资料，“小圆来了啊，没事，最近稳定许多，少一天关系不大，一晃马上就要进入中旬了，你去看看柴文政他们，从拿到模型后到现在都没休息过。”
梁圆没听廖老的，走到身前，把药放在面前的桌子上，一副不吃她就不离开的架势。
见廖老吃完药后，她才说道：
“刚从实验室过来，劝不听，自从拿到模型后，柴组长跟丁冉教授分了两个组，不分昼夜的实验，始终没得到想要的效果，老师，您说不会是简易模型的问题。”
“这不好说，实验室那边的各种参数都达到了EUV光刻机的环境，但是光能的吸收力度远超我们的想象，你看这份报告，最终可用的光能才12W，距离最低要求25W还差一倍以上。”
梁圆安慰道，“从理论验证完成到实际落地实验，这个过程从来都是漫长的，我们的速度已经很快了。”
“我当然知道这点，只是10月份晶圆厂就要揭幕了，没有一台EUV镇厂，影响太大了，国际形象受损，国外的那些搞技术的也会笑话我们，这还是在有资料的情况下，否则我无法想象要如何才能完成EUV的研发。”
廖老低沉的声音回荡在安静的办公室里，梁圆看着心里也非常难受，只能不断安慰，“前两天小路还在打电话跟我说，让您注意身体，不用急，也别去管外面怎么说，10月出不来也没关系，现在已经很好了。”
听到自己学生的消息，廖老神色变得有精神了些，“小路最近做了几件漂亮的大事啊，我这个老师都替他骄傲，学生在外面冲锋陷阵，老师当然要给他争口气，放心吧，我垮不了。”
说完又拿起手中的资料，在桌上详细查看了起来。
光学系统实验室，小组二十几号人还在调试，这些都是从相关研究所过来的精英，有几人还是23所过来的同事。
一名戴着厚厚眼镜的男人说道，“柴教授，前脉冲肯定是没问题的，我们小组观察过上百次，几乎是没有起伏的。”
柴文政眼眶凹陷，这几个月足足瘦了20多斤，沙哑着嗓子，“单次脉冲没什么问题，击打也能保证同步，最有可能出问题的还是匀速，每次击打的间隔时间仍然有误差。”
站他旁边的是一名老教授，年纪比柴文政还大，来自清大紫光的专家，“老柴，有了模型的加持，你刚才说的误差是在可承受范围之内，我反而认为是第三块与第四块镜片的问题，每次到第五块光能就降到了20%以下，吸收占比太大了。”
“这已经是更换的第三批镜片了，而且这些镜片都是通过校验的。”
“丁教授那边提议直接组装实验，我们这个实验室空间还是太大了。”眼镜男人说道。
“实验室里的环境完全是真空状态，无尘级别也达到了最高要求，这边得不到验证，就算装起来，也不可能成功，空间应该不影响。”
老教授说道，“不一定，虽然从各项参数来看，里面的环境达标，但那只是我们现在的检测设备给出的结果，会否有未知原因导致光能被吸收呢？”
这样的争论从拿到数学模型开始实验到现在，每天都在发生，但这半个多月的收获却一点也不小。
至少他们从上百个模型中，找到了最适合的三个，上千次实验中也获得了不少的经验。
次日一大早，路阳见到廖老时，心中充满了愧疚，上次在张老办公室就一直说要过来的这边，结果都被各种事情打断。
“或许我是怕见到廖老，怕给他压力，又或者我心中也在期望着小组这边能顶着这种压力做出成果，路阳，你变了！”心中各种情绪不断翻动。
脸上一直挂着微笑，添油加醋的给廖老说着最近的事情，他知道廖老爱听，特别是在国外发生的事，廖老问得最多。
办公室内已经很久没有廖老洪亮的笑声了，梁圆还未到办公室，就听到了笑声，脸上表情一喜。
“哎呦，这不是路总吗？今天有时间过来看我们了？”
路阳不好意思的说道，“圆姐，实在抱歉，最近……”
“他现在是一家几万人企业的董事长，能做到这步已经很厉害了，我们都该为小路感到骄傲。”
廖老越是替他说话，路阳越是内疚，鼻子有些发酸，赶紧岔开话题，“对了，圆姐，柴教授跟丁教授那边怎么样了？”
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